反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列

概要

規格

概要

EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成，此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。

特征

适合高真空环境使用：不锈钢质本体

抗腐蚀

使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本体也可以提供

适合对于腐蚀性气体的使用

当排气端流量被调整到*佳的位置：

抗蚀剂是以一层均匀的薄膜方式分布的

阻止了喷雾的次级沉积

阻止了危险水蒸气的扩散

此外，与流量传感器控制方式相比较而言，因抗蚀剂和其他污染物堆积对本产品造成的影响更小

此产品属于受日本法律管制的出口品（列于控制清单之上）。在从日本出口到海外或者供应给非日本企业前，必需从日本经济产业省的相关部门获得出口许可证件。

制造: HORIBA STEC

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