高性能载气式液体汽化器MV/2000Series四川成都重庆西崎商社区域销售
发布时间:2019-04-29
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详情介绍:
高性能载气式液体汽化器 MV-2000 Series
概要
規格
概要MV-2000系列实现高效的汽化,即使在低温情况下也可通过螺旋式加热达到汽化效果。此种汽化方式适用于半导体制造工艺,诸如“High-k”——一种易热解的液体源
特征以螺旋加热式完成稳定的低温汽化
大流量汽化(增加稳定性数据)
可汽化易热解的液体源
制造: HORIBA STEC
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