HORIBA掘场,反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列四川成都重庆西崎商社区域销售
发布:2019-04-29 16:14,更新:2010-01-01 00:00
反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列四川成都重庆西崎商社区域销售、 反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列四川成都重庆西崎商社区域销售详情介绍:
反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列
概要
規格
概要
EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成,此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。
特征
适合高真空环境使用:不锈钢质本体
抗腐蚀
使用PTFE(聚四氟乙烯)制作的本体也可以提供
适合对于腐蚀性气体的使用
当排气端流量被调整到*佳的位置:
抗蚀剂是以一层均匀的薄膜方式分布的
阻止了喷雾的次级沉积
阻止了危险水蒸气的扩散
此外,与流量传感器控制方式相比较而言,因抗蚀剂和其他污染物堆积对本产品造成的影响更小
此产品属于受日本法律管制的出口品(列于控制清单之上)。在从日本出口到海外或者供应给非日本企业前,必需从日本经济产业省的相关部门获得出口许可证件。
制造: HORIBA STEC
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